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據(jù)中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院相關(guān)項目負(fù)責(zé)人介紹，光刻機(jī)是液晶面板制造裝備中投資份額最大的關(guān)鍵裝備，其關(guān)鍵技術(shù)始終受制于國外企業(yè)，限制了行業(yè)發(fā)展。為打破液晶面板行業(yè)光刻裝備國外壟斷的局勢，針對電子信息領(lǐng)域?qū)夹g(shù)先進(jìn)、節(jié)能環(huán)保的低成本曝光裝備需求，中科院重慶研究院開展了基于UVLED光源的新型曝光模組研究，突破了LED/LD光學(xué)擴(kuò)展量求解與束角變換理論、LED多自由曲面精確配光技術(shù)、紫外波段自由曲面無機(jī)光學(xué)元件批量化制造技術(shù)、光機(jī)電系統(tǒng)集成等多項關(guān)鍵技術(shù)，成功研制了用于微電子光刻的“2-12英寸UVLED平行光曝光模組”及用于PCB、液晶面板和觸摸屏等光刻裝備的“5KW、8KW、10KW汞燈替代UVLED光源模組”系列產(chǎn)品，產(chǎn)品強(qiáng)度、均勻度等多項關(guān)鍵指標(biāo)均優(yōu)于國外原廠配置，并可滿足2um級線條的制作，產(chǎn)品技術(shù)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。目前，研發(fā)團(tuán)隊已與重慶方正、深南電路等大型企業(yè)達(dá)成合作協(xié)議，配合企業(yè)完成光刻裝備的升級改造，市場上該類光刻裝備超過5萬臺，產(chǎn)值將達(dá)50億元以上。